دو کتاب در ارتباط با سنسورهای ممز MEMS
فناوری MEMS یا فناوری سیستمهای میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مكانیكی، حسگرها، محركها و قطعات الكترونیكی بر روی یك لایه سیلیكون به كمك فناوری ساخت تراشههای میكرونی است . در واقع « MEMS » ، « ریزفناوری ها » یا سیستم های میکرو...